流量測(ce)量技術之 微小流量(liang) 的測量(liang)     
半導體(ti)制造業、生物(wu)工程、精細化(huà)工等的興起(qi)，使流量👨‍❤️‍👨測量(liàng)向低端延伸(shēn)，小流量計流(liú)量的要求在(zài)上世紀 80 ∽ 90 年代凸(tu)顯起來。何謂(wèi)小流量 ? 業界尚無*的(de)定義和界限(xian)，小流量因應(yīng)用領域而異(yì)是一個🐉模🏃🏻‍♂️糊(hú)♻️的概念。管道(dào)小流量測量(liàng)體現于管徑(jing)小和流速💞低(di)兩個層次，就(jiù)流程工業而(er)言，習慣上 DN10 甚至 DN15 以下管徑流(liú)量測量稱之(zhi)小流量測量(liang)，通常其流量(liang)值液體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以(yi)下，流量儀表(biǎo)滿度流量時(shí)的流速低于(yú) 0.1m/s 。
1 、測(ce)量方法
傳統小流量(liang)測量技術節(jiē)流差壓 ( 層流 ) 法(fǎ)、浮子法和容(róng)積法等有了(le)的改進，新測(cè)量技術如超(chao)聲法、熱法、科(kē)裏奧利法等(deng)也有成效地(di)應于液體和(he)氣💋體小流量(liàng)測量。
2 、特(te)點
微小(xiǎo)流量與一般(bān)流量測量相(xiang)比較，具有以(yǐ)下特點。
1) 雷諾數低
一般管道(dào)流動均爲紊(wen)流流動，流量(liàng)儀表也是針(zhēn)對紊流流動(dong)😘态設計的，而(ér)小流量儀表(biao)因管徑小常(cháng)處于層流流(liu)動 ( 例如(rú)管内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或(huo)層流 / 紊(wen)流過渡區流(liú)态流動，小流(liú)量測量受使(shi)用中流體👣黏(nian)度變🏃🏻‍♂️化影響(xiang)頗大。
2) 要(yào)用實際使用(yong)流體校準
液體流量(liàng)儀表一般用(yòng)水校準，氣體(tǐ)用空氣校準(zhǔn)。若知道實際(ji)測量流體與(yǔ)校準流體間(jian)某些物性不(bú)同對示🈲值有(you)規律變化☀️時(shi)，中大管徑流(liu)量儀表常以(yi)适✂️當系數修(xiū)正。但有些小(xiao)流量儀表受(shou)黏度等流體(tǐ)物性影響大(da)，須以實際♈使(shǐ)用流體校準(zhun)。所幸流量小(xiǎo)，用實際使用(yòng)流體校準難(nán)度不大，但在(zài)作💛有害性流(liú)體㊙️校準時應(yīng)注意安全和(he)環境污染。
3) 要求測量(liàng)時防止污染(rǎn)流體
若(ruò)測量潔淨氣(qi)體和純水常(chang)不允許接觸(chù)流體的儀表(biǎo)零件材🌏料📞析(xi)出離子，例如(rú)半導體制備(bèi)中儀表不能(néng)用金屬和玻(bo)璃制成，隻能(néng)用塑料。流體(ti)中也不允許(xǔ)混入活動件(jiàn)的磨蝕塵粒(li)。流量儀表流(liú)通通道要盡(jin)可能簡💛單，不(bú)應有潴留 ( 指液體在(zai)體内不正常(cháng)地聚集停留(liu) ) 部位，防(fang)止潴留介質(zhì)變質。
4) 氣(qi)泡和塵埃附(fu)着的影響
因管徑小(xiǎo)黏性增加，液(yè)體中微細氣(qì)泡易在管系(xi)流動過程中(zhong)⛷️積聚變大，使(shi)測量時指示(shi)不穩，度下降(jiang)。流體中塵埃(ai)附着測量元(yuán)件也要影響(xiang)測量值，例如(ru)浮子流量計(ji)的浮子上沉(chen)積有肉眼覺(jiào)察不出的附(fu)着🔞層也會影(yǐng)響示值。
5) 流量儀表品(pǐn)種使用上受(shou)到一定限制(zhì)
在衆多(duo)測量原理流(liu)量儀表中，因(yīn)各種原因小(xiǎo)流量應用受(shou)到💋一些限制(zhì)，當前能應用(yong)于小流量的(de)品種如表格(gé)所示