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氣體檢測/測(cè)漏流量計

産品時(shí)間：2025-12-07

氣體(tǐ)檢測/測漏流量計(ji)傳感器靈敏度高(gao),有極小的🈲始動流(liú)量
- 傳感器芯片采(cǎi)用熱質量流量計(jì)量,無需溫度壓力(li)補償,保證了傳
- 感(gan)器的高精度計量(liang)
- 在單個芯片上實(shí)現了多傳感器集(jí)成,使傳感器的🈲量(liang)程比大大提高
- 傳(chuan)感器的零點穩定(ding)度高全量程高穩(wěn)定性

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詳細介紹(shao)

産品簡介：
FS4001系(xi)列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是(shì)專門爲各類小流(liú)量氣體的測量和(hé)過程控制而設計(jì)的。這一系列傳感(gan)器均采用本公司(si)📞自主研發的微機(ji)電系統（MEMS）流量傳感(gǎn)芯片🔞來制作，适用(yong)于各類清🛀潔氣體(ti)。*的封裝技術使之(zhī)可用于各類管徑(jing)，成本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力補(bu)償，可替代容積式(shi)或壓✨差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

氣體(tǐ)檢測/測漏流量計(jì)産品特點：
- 傳感器(qì)靈敏度高,有極小(xiao)的始動流量
- 傳感(gǎn)器芯片采用熱質(zhi)量流量計量,無需(xū)溫度壓力補償,保(bao)證了傳
- 感器的高(gāo)精度計量
- 在單個(gè)芯片上實現了多(duō)傳感器集成,使傳(chuán)感器的量程比大(dà)大提高
- 傳感器的(de)零點穩定度高
- 全(quan)量程高穩定性
- 全(quán)量程高精确度和(he)優良的重複性
- 低(di)功耗
- 低壓損
- 響應(ying)時間快

主要參數(shù)：

性能參數	FS4001		單位
通(tōng) 徑	1.0	1.8	mm
zui大流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比(bǐ)	2132132132131231312100:1
精度	±（1.5+0.2FS）		%
重複性	0.25		%讀數(shù)
零點輸出飄移	±30		mV
輸(shu)出飄移	±0.12		%/oC
響應時間(jiān)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸出方(fang)式	線性，RS232/模拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
zui大流量壓損	350	300	pa
zui大工(gōng)作壓力	0.5		MPa
工作溫度(du)	-10 ~ +55		oC
存儲溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結冰、無凝露(lu)）
機械接口	可拆式(shi)軟管接頭
校準方(fang)式	空氣（或其他氣(qì)體），20oC，101.325kPa
重量	15		g