微(wēi)小氣體流(liu)量計,MF4001氣體(tǐ)流量計

産(chan)品時間：2025-12-07

簡(jiǎn)要描述：

微(wēi)小氣體流(liú)量計,MF4001氣體(ti)流量計是(shì)廣州迪川(chuan)儀器儀表(biǎo)有限公司(si)專門爲各(ge)類小流量(liang)氣體的測(ce)量和過程(chéng)控制而設(she)計的。這🙇‍♀️一(yi)系列傳感(gan)器均采用(yòng)本公司自(zì)主研發的(de)微機電系(xì)統（MEMS）流量傳(chuán)感芯片來(lái)制作，适用(yong)于各類清(qing)潔氣體。*的(de)封裝技術(shu)使之可用(yong)于各類🔴管(guan)徑，成本低(di)、易安裝、不(bu)需要溫度(du)壓力⛷️補償(cháng)，可替代容(róng)積式或壓(yā)差式的傳(chuán)統流量傳(chuán)感器。

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微小(xiǎo)氣體流量(liàng)計,MF4001氣體流(liu)量計

産品簡介(jiè)：
FS4001系列(liè)小流量氣(qi)體質量流(liú)量傳感器(qi)是廣州迪(dí)川儀器儀(yí)表有限公(gong)司專門爲(wei)各類小流(liu)量氣體的(de)測量和過(guò)程控制而(er)設計♊的。這(zhè)一系列傳(chuan)感器均采(cǎi)用本公司(si)自主研發(fa)的微機電(diàn)系統🐉（ MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制(zhi)作，适用于(yú)各類清潔(jié)氣體。*的封(fēng)裝技術使(shǐ)📱之可用于(yu)各類管徑(jing)，成本低、易(yì)安裝、不需(xu)要溫度壓(ya)力補♊償，可(kě)替代容積(jī)式或壓差(cha)式的傳統(tong)流量傳感(gǎn)器。
産(chan)品特點：微(wei)小氣體流(liú)量計,MF4001氣體(ti)流量計
- 傳感器(qi)靈敏度高(gāo) ,有極(ji)小的始動(dòng)流量
- 傳感器芯(xin)片采用熱(rè)質量流量(liang)計量 ,無需溫度(dù)壓力補償(cháng) ,保證(zhèng)了傳
- 感器的高(gāo)精度計量(liàng)
- 在單(dan)個芯片上(shàng)實現了多(duō)傳感器集(jí)成 ,使(shǐ)傳感器的(de)量程比大(da)大提高
- 傳感器(qì)的零點穩(wěn)定度高
- 全量程(chéng)高穩定性(xing)
- 全量(liàng)程高精确(què)度和優良(liáng)的重複性(xìng)
- 低功(gōng)耗
- 低(dī)壓損
- 響應時間(jian)快
主(zhǔ)要參數：

性能參(cān)數

FS4001

單(dān)位

通(tong) 徑

1.0

zui大流量(liang)

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

量程(chéng)比

2132132132131231312100:1

精(jīng) 度

±(1.5+0.2FS)

零點(dian)輸出飄移(yi)

輸出(chū)飄移

±0.12

%/oC

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

線性(xìng)， RS232/模拟(nǐ)電壓 0.5~4.5Vdc

zui大流量壓(yā)損

350

工作(zuo)溫度

-10 ~ +55

存儲溫度(du)

工作(zuò)濕度

<95%RH（無結冰、無(wu)凝露）

可拆(chāi)式軟管接(jie)頭

校(xiào)準方式

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