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微小氣體(ti)流量計FS4001
産(chan)品時間：2025-12-07
簡(jian)要描述：
微(wei)小氣體流(liú)量計FS4001專門(men)爲各類小(xiǎo)流量氣體(ti)的測量和(hé)過程控制(zhì)而設計的(de)。這一系列(liè)傳感器均(jun)采用本公(gong)司自主研(yan)發的微機(ji)電系統（MEMS）流(liú)量傳感芯(xīn)片來制作(zuo)，适用🐪于各(gè)類清潔氣(qi)體。*的封裝(zhuang)技術使之(zhi)可用于各(gè)類管徑，成(cheng)本低、易安(an)裝、不需要(yào)溫度壓力(lì)補償，可替(tì)代容積式(shì)或壓差式(shì)的傳統流(liú)量傳感器(qì)。
微小氣體(tǐ)流量計FS4001
産品簡(jian)介：
FS4001
系(xi)列小流量(liang)氣體質量(liang)流量傳感(gan)器是廣州(zhou)迪川儀器(qi)儀🥵表✌️有限(xian)公司專門(mén)爲各類小(xiao)流量氣體(tǐ)的測量和(hé)過程控制(zhi)而設計的(de)。這一系列(liè)傳感器均(jun)采用本公(gong)司自主研(yán)發的微機(ji)🏃🏻電系統⭐（
MEMS
）流量傳(chuan)感芯片來(lái)制作，适用(yòng)于各類清(qing)潔氣體。*的(de)封裝技術(shu)使之可用(yong)于各類管(guǎn)徑，成本低(dī)、易安裝、不(bú)需要溫⛷️度(dù)壓✌️力補償(chang)，可替代容(rong)積式或壓(yā)差式的傳(chuán)統流量傳(chuán)感器。
微小(xiǎo)氣體流量(liàng)計FS4001
産(chǎn)品特點：
-
傳感器(qi)靈敏度高(gāo)
,
有極(jí)小的始動(dòng)流量
-
傳感器芯(xin)片采用熱(re)質量流量(liang)計量
,
無需溫度(du)壓力補償(chang)
,
保證(zheng)了傳
-
感器的高(gāo)精度計量(liàng)
-
在單(dan)個芯片上(shang)實現了多(duō)傳感器集(jí)成
,
使(shǐ)傳感器的(de)量程比大(da)大提高
-
傳感器(qi)的零點穩(wen)定度高
-
全量程(cheng)高穩定性(xing)
-
全量(liàng)程高精度(du)和優良的(de)重複性
-
低功耗(hao)
-
低壓(yā)損
-
響(xiang)應時間快(kuai)
主要參數(shu)：
FS4001系列微小(xiao)流量計
|
性能參(cān)數 |
FS4001 |
單(dān)位 |
|
|
通(tōng) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
|
大流量(liang) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
|
量程(cheng)比 |
2132132132131231312100:1 |
|
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|
精(jīng) 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
|
|
重複性(xing) |
0.25 |
% 讀數(shu) |
|
|
零點(diǎn)輸出飄移(yi) |
±30 |
mV |
|
|
輸出(chū)飄移 |
±0.12 |
%/oC |
|
|
響應時間(jiān) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
|
|
工作(zuo)電源 |
8~18Vdc,50mA |
|
|
|
輸出方式(shì) |
線性(xìng)， RS232/ 模拟(nǐ)電壓 0.5~4.5Vdc |
|
|
|
大流量壓(yā)損 |
350 |
300 |
pa |
|
大(da)工作壓力(lì) |
0.5 |
MPa |
|
|
工作(zuo)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
|
|
存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
|
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工作(zuò)濕度 |
<95%RH （無結冰、無(wú)凝露） |
|
|
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機械接口(kou) |
可拆(chai)式軟管接(jiē)頭 |
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校(xiào)準方式 |
空氣（或(huò)其他氣體(ti)）， 20oC ， 101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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FS4001系列(liè)微小流量(liang)計訂(dìng)貨詳情請(qǐng)： 85628522
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