氣(qì)體流量監測(cè)傳感器
産品(pin)時間:2025-12-07
簡要描(miáo)述:
FS4001系列氣體(tǐ)流量監測傳(chuan)感器适用于(yu)各類清潔氣(qi)體。*的封裝技(ji)術使之可用(yong)于各類管徑(jing),成本低、易安(an)裝、不需要溫(wēn)度壓力補✂️償(chang),可替代容積(ji)式或壓差式(shi)的傳統流🥵量(liang)傳感器。
産品簡介:
FS4001系(xi)列 氣體流量(liang)監測傳感器(qi) 是專門(men)爲各類小流(liú)量氣體的測(cè)量和過程控(kòng)制而設計的(de)。這一系列傳(chuan)感器均采用(yòng)本公司自主(zhu)研發❗的微機(jī)電❓系統( MEMS )流量傳感芯(xīn)片來制作。
FS4001系(xi)列 氣體流量(liàng)監測傳感器(qì) 适用于(yú)各類清潔氣(qi)體。*的封裝技(ji)術使之可用(yong)于各類管徑(jing),成本低、易安(ān)裝、不需要溫(wen)度壓力補償(chang),可替🚶♀️代容積(jī)式或壓📧差式(shì)的傳🏃統流量(liàng)傳感器。
産品特(tè)點:
-
傳感(gan)器靈敏度高(gao)
,
有極小(xiao)的始動流量(liang)
-
傳感器(qì)芯片采用熱(re)質量流量計(ji)量
,
無需(xū)溫度壓力補(bu)償
,
保證(zhèng)了傳
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感(gan)器的高精度(dù)計量
-
在(zài)單個芯片上(shang)實現了多傳(chuán)感器集成
,
使傳感器(qi)的量程比大(da)大提高
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傳感器的零(ling)點穩定度高(gao)
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全量程(chéng)高穩定性
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全量程高(gāo)精确度和優(yōu)良的重複性(xìng)
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低功耗(hào)
-
低壓損(sun)
-
響應時(shi)間快
機(ji)械尺寸:
主要參(cān)數:
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性能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大(da)流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比(bi) |
>100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸(shū)出飄移 |
±30 |
mV |
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輸出(chū)飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時(shi)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuán) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
線(xian)性,RS232/模拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損(sǔn) |
350 |
300 |
pa |
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大工作壓力(lì) |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存(cun)儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作(zuò)濕度 |
<95%RH(無結冰(bīng)、無凝露) |
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機械(xie)接口 |
可拆式(shì)軟管接頭 |
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校(xiào)準方式 |
空氣(qi)(或其他氣體(ti)),20oC,101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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