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FS4001系列實(shi)驗室氣(qi)體流量(liang)傳感器(qì)
産品時(shi)間:2025-12-07
簡要(yao)描述:
FS4001系(xi)列實驗(yan)室氣體(tǐ)流量傳(chuán)感器适(shi)用于各(ge)類清潔(jié)氣體。*的(de)封裝技(jì)術使之(zhi)可用于(yu)各類管(guan)徑,成本(běn)低、易安(ān)裝、不♍需(xu)要👄溫度(du)壓力補(bǔ)償,可替(tì)代容積(ji)式或壓(ya)差式的(de)傳統流(liú)量傳感(gǎn)器。
産品(pin)簡介:
FS4001系(xi)列實驗(yan)室氣體(tǐ)流量傳(chuán)感器 是專(zhuan)門爲各(gè)類小流(liú)量氣體(tǐ)的測量(liàng)和過程(cheng)控制而(er)設計的(de)。這🔞一系(xì)列傳感(gǎn)器均采(cai)用本公(gōng)司自主(zhǔ)研發的(de)微👄機電(diàn)系統( MEMS )流量(liang)傳感芯(xīn)片來制(zhi)作。
FS4001系列(liè)實驗室(shi)氣體流(liu)量傳感(gǎn)器 适用于(yu)各類清(qing)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuang)技術使(shǐ)之可用(yong)于各類(lèi)管徑,成(cheng)本低、易(yì)安裝、不(bú)需要溫(wen)度壓力(lì)補償,可(kě)替代容(róng)積式或(huo)壓差式(shi)的傳🥰統(tong)流量傳(chuán)感器。
産品特(tè)點:
-
傳感器(qì)靈敏度(du)高
,
有極小(xiao)的始動(dòng)流量
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傳感(gan)器芯片(piàn)采用熱(rè)質量流(liú)量計量(liang)
,
無(wú)需溫度(dù)壓力補(bu)償
,
保證了(le)傳
-
感器的(de)高精度(dù)計量
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在單(dan)個芯片(piàn)上實現(xiàn)了多傳(chuán)感器集(ji)成
,
使傳感(gǎn)器的量(liàng)程比大(da)大提高(gao)
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傳(chuán)感器的(de)零點穩(wen)定度高(gāo)
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全(quán)量程高(gāo)穩定性(xìng)
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全(quán)量程高(gao)精确度(du)和優良(liang)的重複(fú)性
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低功耗(hao)
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低(di)壓損
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響應(ying)時間快(kuài)
機(jī)械尺寸(cùn):
主要(yào)參數:
|
性(xing)能參數(shu) |
FS4001 |
單位 |
|
|
通(tōng) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
|
大流(liu)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
|
量程(cheng)比 |
>100:1 |
|
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|
精 度(du) |
±(1.5+0.2FS) |
% |
|
|
重複性(xìng) |
0.25 |
%讀數 |
|
|
零(ling)點輸出(chu)飄移 |
±30 |
mV |
|
|
輸(shū)出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
|
|
響應時(shí)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
|
|
工作(zuo)電源 |
8~18Vdc,50mA |
|
|
|
輸(shū)出方式(shì) |
線性,RS232/模(mo)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc |
|
|
|
大流量(liàng)壓損 |
350 |
300 |
pa |
|
大(dà)工作壓(yā)力 |
0.5 |
MPa |
|
|
工作(zuò)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
|
|
存(cún)儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
|
|
工作濕(shi)度 |
<95%RH(無結(jié)冰、無凝(ning)露) |
|
|
|
機械(xiè)接口 |
可(ke)拆式軟(ruan)管接頭(tou) |
|
|
|
校準方(fang)式 |
空氣(qì)(或其他(tā)氣體),20oC,101.325kPa |
|
|
|
重(zhòng)量 |
15 |
g |
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