FS4001系列實(shi)驗室氣(qi)體流量(liang)傳感器(qì)

産品(pin)簡介：

FS4001系(xi)列實驗(yan)室氣體(tǐ)流量傳(chuán)感器 是專(zhuan)門爲各(gè)類小流(liú)量氣體(tǐ)的測量(liàng)和過程(cheng)控制而(er)設計的(de)。這🔞一系(xì)列傳感(gǎn)器均采(cai)用本公(gōng)司自主(zhǔ)研發的(de)微👄機電(diàn)系統（ MEMS ）流量(liang)傳感芯(xīn)片來制(zhi)作。

FS4001系列(liè)實驗室(shi)氣體流(liu)量傳感(gǎn)器 适用于(yu)各類清(qing)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuang)技術使(shǐ)之可用(yong)于各類(lèi)管徑，成(cheng)本低、易(yì)安裝、不(bú)需要溫(wen)度壓力(lì)補償，可(kě)替代容(róng)積式或(huo)壓差式(shi)的傳🥰統(tong)流量傳(chuán)感器。

産品特(tè)點：
  - 傳感器(qì)靈敏度(du)高 , 有極小(xiao)的始動(dòng)流量
  - 傳感(gan)器芯片(piàn)采用熱(rè)質量流(liú)量計量(liang) , 無(wú)需溫度(dù)壓力補(bu)償 , 保證了(le)傳
  - 感器的(de)高精度(dù)計量
  - 在單(dan)個芯片(piàn)上實現(xiàn)了多傳(chuán)感器集(ji)成 , 使傳感(gǎn)器的量(liàng)程比大(da)大提高(gao)
  - 傳(chuán)感器的(de)零點穩(wen)定度高(gāo)
  - 全(quán)量程高(gāo)穩定性(xìng)
  - 全(quán)量程高(gao)精确度(du)和優良(liang)的重複(fú)性
  - 低功耗(hao)
  - 低(di)壓損
  - 響應(ying)時間快(kuài)

機(jī)械尺寸(cùn)：

主要(yào)參數：

性(xing)能參數(shu)	FS4001		單位
通(tōng) 徑	1.0	1.8	mm
大流(liu)量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(cheng)比	>100：1
精 度(du)	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數
零(ling)點輸出(chu)飄移	±30		mV
輸(shū)出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時(shí)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuo)電源	8~18Vdc,50mA
輸(shū)出方式(shì)	線性，RS232/模(mo)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
大流量(liàng)壓損	350	300	pa
大(dà)工作壓(yā)力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存(cún)儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝(ning)露）
機械(xiè)接口	可(ke)拆式軟(ruan)管接頭(tou)
校準方(fang)式	空氣(qì)（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa
重(zhòng)量	15		g