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FS4001系列測量(liang)氣體流量(liang)傳感器

産(chǎn)品時間：2025-12-07

簡(jian)要描述：

FS4001系(xi)列測量氣(qi)體流量傳(chuán)感器是專(zhuan)門爲各類(lei)小流量氣(qì)體的測量(liang)和過程控(kong)制而設計(jì)的。這一系(xì)列傳感器(qì)均采用本(běn)公司自主(zhǔ)研發的微(wei)機電系統(tong)（MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制(zhi)作，适用于(yu)各類清潔(jié)氣體。

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簡介(jiè)：

FS4001系列測量(liàng)氣體流量(liang)傳感器 是專門(men)爲各類小(xiǎo)流量氣體(ti)的測量和(he)過程控制(zhi)而設計的(de)。這一🤩系列(lie)傳感器均(jun1)采用本公(gōng)司自主研(yán)發🏃🏻的微機(jī)電系統（ MEMS ）流量傳(chuán)感芯片來(lái)制作。

FS4001系列(liè)測量氣體(tǐ)流量傳感(gan)器 适(shì)用于各類(lei)清潔氣體(tǐ)。*的封裝技(ji)術使之可(kě)用于各類(lèi)管徑，成本(ben)低、易安裝(zhuāng)、不需要溫(wen)度壓力補(bu)償，可替代(dai)容積式或(huo)壓差式的(de)傳統流量(liàng)傳感器。

産(chan)品特點：
- 傳感器(qi)靈敏度高(gao) , 有極(jí)小的始動(dòng)流量
- 傳感器芯(xin)片采用熱(re)質量流量(liang)計量 , 無需溫度(du)壓力補償(cháng) , 保證(zhèng)了傳
- 感器的高(gāo)精度計量(liang)
- 在單(dān)個芯片上(shàng)實現了多(duo)傳感器集(jí)成 , 使(shǐ)傳感器的(de)量程比大(dà)大提高
- 傳感器(qi)的零點穩(wěn)定度高
- 全量程(cheng)高穩定性(xìng)
- 全量(liàng)程高精确(que)度和優良(liang)的重複性(xing)
- 低功(gōng)耗
- 低(di)壓損
- 響應時間(jiān)快
主(zhǔ)要參數：

性(xing)能參數	FS4001		單(dān)位
通徑	1.0	1.8	mm
大(da)流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(cheng)比	>100：1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重(zhong)複性	0.25		%讀數(shù)
零點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸出(chū)飄移	±0.12		%/oC
響應(yīng)時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuò)電源	8~18Vdc,50mA
輸出(chū)方式	線性(xìng)，RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc
大流量壓(yā)損	350	300	pa
大工作(zuò)壓力	0.5		MPa
工作(zuo)溫度	-10 ~ +55		oC
存儲(chǔ)溫度	-20 ~ +65		oC
工作(zuo)濕度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝露(lu)）
機械接口(kou)	可拆式軟(ruǎn)管接頭
校(xiào)準方式	空(kong)氣（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa
重量(liang)	15		g

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