mf4001廣東(dōng)微小口徑(jìng)氣體質量(liàng)流量計
産(chan)品時間:2025-12-07
簡(jian)要描述:
mf4001廣(guang)東微小口(kǒu)徑氣體質(zhì)量流量計(ji)是專門爲(wèi)各類小流(liú)量氣體的(de)測量和過(guo)程控制而(er)設計的。這(zhè)一系列傳(chuán)感器均采(cǎi)用本公司(si)自💛主研發(fa)的微機電(diàn)系統(MEMS)流量(liang)傳感芯片(piàn)來㊙️制作,适(shì)用于各類(lei)清潔🤞氣體(tǐ)。*的封裝技(ji)術使之可(kě)用于各類(lei)管徑,成本(běn)低、易安裝(zhuāng)、不需要🏒溫(wen)度壓力補(bu)償,可替代(dài)容🙇🏻積式或(huò)壓差🐇式的(de)傳統流量(liàng)傳感器。
mf4001廣(guǎng)東微小口(kou)徑氣體質(zhì)量流量計(jì)
産品(pin)特點:
-
傳感器靈(ling)敏度高
,
有極小(xiao)的始動流(liu)量
-
傳(chuan)感器芯片(pian)采用熱質(zhì)量流量計(ji)量
,
無(wú)需溫度壓(yā)力補償
,
保證了(le)傳
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感(gǎn)器的高精(jing)度計量
-
在單個(gè)芯片上實(shí)現了多傳(chuán)感器集成(chéng)
,
使傳(chuan)感器的量(liàng)程比大大(dà)提高
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傳感器的(de)零點穩定(ding)度高
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全量程高(gāo)穩定性
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全量程(chéng)高精确度(dù)和優良的(de)重複性
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低功耗(hào)
-
低壓(yā)損
-
響(xiang)應時間快(kuài)
mf4001廣東微小(xiǎo)口徑氣體(ti)質量流量(liàng)計 機(ji)械尺寸:

主(zhǔ)要參數:
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性(xing)能參數 |
FS4001 |
單(dān)位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大(dà)流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(cheng)比 |
>100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重(zhòng)複性 |
0.25 |
%讀數(shù) |
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零點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
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輸出(chu)飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應(ying)時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作(zuò)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出(chū)方式 |
線性(xìng),RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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大流量壓(yā)損 |
350 |
300 |
pa |
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大工作(zuo)壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作(zuò)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲(chu)溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作(zuò)濕度 |
<95%RH(無結(jie)冰、無凝露(lù)) |
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機械接口(kou) |
可拆式軟(ruǎn)管接頭 |
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校(xiào)準方式 |
空(kōng)氣(或其他(tā)氣體),20oC,101.325kPa |
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重量(liang) |
15 |
g |
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